《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472 – 2008 之二十四

净化家园2021-09-12 07:10:33

 

本节为 洁净工程 防静电措施的一般规定。

 【济南昌耀 按】“中国芯”计划,再次带动了中国电子工业洁净厂房的建设高潮,洁净厂房的设计及使用规范在电子产品的质量保障上起着根本性的作用,希望本规范能对电子工业从业人员及净化行业人员有所帮助。

13.2   防静电措施

13.2.1 洁净厂房防静电环境中,防静电地面的面层结构和材料应符合下列要求:

     1
防静电地面面层的选择,应满足电子产品生产工艺的要求;

     2
防静电地面的表层应采用静电耗散性材料,静电耗散性材料表面电阻率应为2.5*104~1*109Ω;

     3
防静电地面应设置导静电泄放设施和接地连接,其地面对地泄放电阻值应为1*105~1*108Ω。

13.2.2 洁净厂房防静电环境的吊顶、墙面和柱面的装饰设计,应符合下列要求:

     1
一级防静电工作区的地面、墙面和柱面应采用导静电型。导静电型地面、墙面、柱面的表面电阻、对地电阻应为2.5*104~1*106Ω,摩擦起电电压不应大于100V,静电半衰期不应大于0.1s;

     2 二级防静电工作区的地面、墙面、柱面、顶棚、门和软帘应采用静电耗散型。静电耗散型地面、墙面、柱面和顶棚、门的表面电阻、对地电阻应为1.0*106~1*109Ω,摩擦起电电压不应大于200V,静电半衰期不应大于1s,但软帘的摩擦起电电压不应大于300V;

     3
三级防静电工作区的地面、墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料,顶棚、门等宜采用低起电材料。选用静电耗散型材料地面、墙面和柱面,应符合本条第2款的要求;选用低起电材料的地面、墙面、柱面、顶棚、门等的摩擦起电电压不应大于1000V.

13.2.3 洁净厂房防静电环境的门窗设计,应符合下列要求:

     1
应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面;、

     2
金属门窗表面应涂刷静电耗刷性涂层,并应接地;

     3
室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时,玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层。

13.2.4 洁净厂房防静电环境的装饰设计应符合下列要求:

     1
各类装修材料应具有表面静电耗散性能,不得使用未经表面改性处理的高分子绝缘的装饰材料;

     2
各类装修的饰面应平整光滑。

13.2.5 洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管,应选用导电材料制作,并应接地。

13.2.6 洁净厂房防静电环境的净化空调系统,各种配管使用部分绝缘材质时,应在其表面安装金属网,并应将其接地。当使用导电性橡胶软管时,应在软管上安装与其紧密结合的金属导体,并应采用接地引线与其可靠连接接地。

13.2.7 洁净厂房防静电环境中,应根据生产工艺的需要设置静电消除器、防静电安全工作台。

13.3   防静电接地

13.3.1 洁净厂房内金属物体包括洁净室(区)的墙面、门窗、吊顶的金属骨架,应与接地系统做可靠连接;导静电地面、活动地板、工作台面、座椅等应做静电接地。

13.3.2 静电接地的连接线应有足够的机械强度和化学稳定性,其主干线截面不应小于95mm2,支线最小截面应为2.5mm2.

13.3.3 与人体接触的静电接地应串接限流电阻,限流电阻的阻值宜为1MΩ。

13.3.4 对电子产品生产过程中产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道,应采取防静电接地措施,其中有爆炸和火灾危险的设备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB50058的有关规定。

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